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薄膜红外探测器的研究
引用本文:魏红振,李家镕.薄膜红外探测器的研究[J].激光技术,1999,23(2):122-125.
作者姓名:魏红振  李家镕
作者单位:1.华中理工大学激光技术国家重点实验室, 武汉, 430074
摘    要:介绍了薄膜热电偶探测器的研究,讨论了薄膜热电偶探测器的结构对探测器响应特性的影响.

关 键 词:薄膜    探测器    测辐射热计
收稿时间:1998-01-19
修稿时间:1998-01-19

Research of thin film infrared detector
Wei Hongzhen,Li Jiarong.Research of thin film infrared detector[J].Laser Technology,1999,23(2):122-125.
Authors:Wei Hongzhen  Li Jiarong
Abstract:The thermal couples are useful detector in laser power or energy measurement or other areas.Now,we developed a novel thin film thermal couple detector deposited on high thermal conductive substrate.This paper described the manufacture parameters and the effects of construction on the response index,response time and noise of the thin film thermal couple detector.
Keywords:thin film  detector  bolometer  
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