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| 吉时利联合Stratophere Solutions研发65nm以下先进工艺特征分析技术 | |
| 摘 要： | 日前,吉时利(Keithley)仪器公司(NYSE代码:KEI)宣布将与Stratosphere Solutions公司(Sunnyvale,CA)合作。Stratosphere Solutions致力于面向集成电路制造提供能够提高工艺参数成品率的新型解决方案。吉时利与Stratosphere Solutions合作后将采用阵列测试元件组(TEG)技术展开先进工艺研发和监测 |
| 关 键 词： | 分析技术 参数测试仪 晶圆 工艺特征 解决方案 工艺节点 特征分析 研发 半导体工艺 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |