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| 金属表面去油用等离子体技术（上） | |
| 作者姓名： | 范崇治[译] 殷志强[校] |
| 作者单位： | 清华大学 |
| 摘 要： | 开发了可进行线性放大的等离子源,在活性等离子体中用于清除金属在压轧时的油污。本文提供了等离子源的设计和性能,表面清洁度是用和水的接触角来估计的;氧的等离子体对油的去除作用进一步用X射线光电子谱仪来观测,以铝和不锈钢金属来说明清洁结果。 |
| 关 键 词： | 等离子体 去油 清洁度 金属 |
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