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| 金属探针与硅单晶片的接触电阻与测量 | |
| 引用本文： | 鲁效明.金属探针与硅单晶片的接触电阻与测量[J].计量技术,1986(8). |
| 作者姓名： | 鲁效明 |
| 作者单位： | 中国计量科学研究院 |
| 摘 要： | 前言在半导体材料和集成电路的测试工作中,广泛地采用探针技术,即运用金属探针与半导体表面的接触来了解半导体材料或器件某些参数特性。但是,目前还没有较完整的金属与半导体的接触理论。而金属探针与半导体的接触电阻的提法及阻值均不统一。该接触电阻的大 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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