| 基于硅膜的电容式高灵敏度低频传声器研究 |
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| 引用本文： | 宫铭举,邓越 马军 汤亮 乔东海 何庆 王孟姣.基于硅膜的电容式高灵敏度低频传声器研究[J].传感技术学报,2009,22(2). |
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| 作者姓名： | 宫铭举 邓越 马军 汤亮 乔东海 何庆 王孟姣 |
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| 作者单位： | 1. 天津理工大学电信学院,天津,300191;中国科学院声学所声学微机电实验室,北京,100080
2. 中国科学院声学所声学微机电实验室,北京,100080 |
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| 摘 要： | 在电容式传声器相关理论以及方形膜研究的基础上,采用圆形硅膜作为振动膜,研制了电容式低频传声器,该传声器直接采用音频传声器结构,不同于以往的电容式低频传声器结构.首先进行了等效结构参数的仿真,为实验提供了理论支持;然后,制备了直径为0.08 m,厚度约60μm的圆形硅膜,并以此硅膜为振动膜研发了一种高灵敏度的低频传声器,其中,两极板间的气隙厚度约为100 μm.测试表明,当偏置电压为4.5 V时,该传声器具有较高的灵敏度,100 Hz处的灵敏度约为-27dB,通频带(20～300 Hz)平坦,低频响应部分(0～20 Hz)需要改进方法进一步测试.
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| 关 键 词： | 低频 电容式 圆形硅振动膜 高灵敏度 通频带 |
Research on Condenser High Sensitivity Low frequency Microphone Based on Circular Silicon Diaphragm |
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| GONG Ming-ju,DENG Yue MA Jun TANG Liang QIAO Dong-hai HE Qing WANG Meng-jiao.Research on Condenser High Sensitivity Low frequency Microphone Based on Circular Silicon Diaphragm[J].Journal of Transduction Technology,2009,22(2). |
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| Authors: | GONG Ming-ju DENG Yue MA Jun TANG Liang QIAO Dong-hai HE Qing WANG Meng-jiao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | low-frequency condenser circular silicon diaphragm high sensitivity transmission bands |
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