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| PVD——一种成熟的硬涂层工艺 | |
| 引用本文： | 王镐.PVD——一种成熟的硬涂层工艺[J].稀有金属快报,2000(8):12-12. |
| 作者姓名： | 王镐 |
| 摘 要： | ＰＶＤ（物理气相沉积）超硬工艺是一种金属或金属化合物蒸汽在真空下冷凝到零件上的工艺，这样零件上就沉积一层薄薄的硬表面涂层，这种涂层表面的硬度一般是传统的大气或真空炉工艺热处理生成的表面硬度的２倍或３倍．ＰＶＤ工艺可进行多次沉积，取每种涂层各自的优点，以达到最佳效果．因而，ＰＶＤ工艺在粘附和耐冲击方面具有明显的优势．用ＰＶＤ法生产的涂层非常薄且连续性好，一般小于５μm．这对精密工具加工来说十分重要． 通常选用的硬涂层主要为氰化钛（ＴｉＮ）、氯化铬（ＣｒＮ）和碳氰化钛（ＴｉＣＮ），其各有优点：ＴｉＮ有… |
| 关 键 词： | 硬涂层工艺 PVD 物理气相沉积 |
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