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| 真空电弧沉积的Ti—Zr—N和Ti—Nb—N多元涂层 | |
| 引用本文： | 孙洪志.真空电弧沉积的Ti—Zr—N和Ti—Nb—N多元涂层[J].稀有金属快报,2000(9):8-9. |
| 作者姓名： | 孙洪志 |
| 摘 要： | 硬质涂层对于减少工具，特别是刀具的磨损起着越来越重要的作用．ＴｉＮ是目前使用的主要涂层．ＴｉＮ涂层的改进工作主要集中在新的ＴｉＮ基合金和多元复合层，希望得到多元素组合的耐磨、耐高温涂层．Ｔｉ－Ｚｒ－Ｎ徐层一直是通过反应溅射法、磁控靶和弧源同时混合的离子沉积法和真空电弧沉积法制备的．关于Ｔｉ－Ｎｂ－Ｎ合金系涂层，文献报道的很少．研究表明，三元系氮化物涂层比二元系的性能更好．多元涂层大都是由合金靶材沉积得到的．关于利用二阴极的真空电弧沉积法共沉积的Ｔｉ－Ｚｒ－Ｎ涂层和Ｔｉ－Ｎｂ－Ｎ涂层，文献报道的很… |
| 关 键 词： | 涂层刀具 真空电弧沉积 Ti－Zr－N 多元涂层 |
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