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反应液加入H2O2制备本征SnO2高阻薄膜
引用本文:郝瑞英  雷智  郑家贵,冯良桓  蔡伟  武莉莉  张静全.反应液加入H2O2制备本征SnO2高阻薄膜[J].功能材料,2004,35(Z1):1148-1150.
作者姓名:郝瑞英  雷智  郑家贵  冯良桓  蔡伟  武莉莉  张静全
作者单位:郝瑞英(四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064);雷智(四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064);郑家贵(四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064);冯良桓(四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064);蔡伟(四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064);武莉莉(四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064);张静全(四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064)
基金项目:国家自然科学基金(项目编号50076030);国家863重点项目(项目编号2003AA513010)
摘    要:在反应液中加入H2O2,用超声喷雾热分解技术制备了SnO2高阻薄膜.结合XRD图谱,方块电阻测试,透光率测试以及Tauc曲线分析的结果,发现反应液中加入H2O2制备的SnO2薄膜,膜质较好,样品在(200)晶面有明显的择优取向;电阻率有明显提高,为12~13 Ω·cm;透光率与一般的透明导电膜并没有很大差别.

关 键 词:H2O2  SnO2  超声喷雾热分解技术
文章编号:1001-9731(2004)增刊-1148-03
修稿时间:2004年3月20日

High resistivity SnO2 films prepared with H2O2 being joined into the solution
HAO Rui-ying.High resistivity SnO2 films prepared with H2O2 being joined into the solution[J].Journal of Functional Materials,2004,35(Z1):1148-1150.
Authors:HAO Rui-ying
Abstract:
Keywords:
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