用于脉搏波检测的背接触式触觉传感阵列单元

触觉传感器在脉搏波测量、仿生机器人等领域有重要应用。该方案制作背接触式传感器，并通过转移工艺实现芯片加工和圆片级芯片尺寸封装一体化，用组装工艺低成本实现大面积柔性触觉阵列，采用模块化设计，正压力与剪切力传感单元的尺寸和布线相同，制作可组装的标准单元，在传感器转移工艺中，采用无电极化学腐蚀自停止工艺，提高成品率。传感单元尺寸仅为300μｍ×300μｍ，与人类触觉传感的极限可比拟，灵敏度为2mV/10kPa，量程为150kPa，已用于研制新型脉诊仪的柔性传感阵列?实现了脉搏波的实时测量。