阵列式MEMS惯性传感器及噪声抑制研究

针对惯导系统中MEMS惯性传感器随机噪声较大的问题，本文利用MEMS惯性传感器体积小的特点，采用32个消 费级MEMS惯性传感器，组成惯性传感器阵列，设计了阵列形式的MEMS惯性传感器测量单元。通过对阵列传感器建模与分析，将32个惯性传感器数据进行数据融合，以此降低消费级MEMS惯性传感器的随机噪声误差与零偏不稳定性。最后利用Allan方差分析了惯性传感器的噪声特性。实验结果表明，在静态状况下，阵列式MEMS惯性传感器有效的抑制了惯性传感器的随机误差，提高了惯性传感器的精度。