基于压电效应的激光测振仪校准理论方法研究

在动态测试与校准领域，激光测振技术已经成为动态测试与校准的重要手段，其性能直接影响测量结果，因此对激光测振仪的校准技术研究显得尤为重要。本文提出了一种基于压电效应的激光测振仪的校准方法，设计以压电梁为敏感元件的测试系统，通过理论分析，建立了压电梁的动力学有限元模型，使用ANSYS软件，施加不同的载荷约束，模拟激光测振仪的振动测量环境。仿真结果显示，压电梁的输出响应快、延迟小，无论是直流偏置还是交流激励，激励信号与仿真压电梁输出的位移信号的相对误差都小于1％，实现压电梁对测量光直接进行频率调制，能够对激光测振仪的动态性能进行标定，并提高校准效率和适用范围，为激光测振仪校准技术的进一步研究提供了方法。