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面向物联网监测节点的集成式微流控传感芯片
引用本文:张孟伦.面向物联网监测节点的集成式微流控传感芯片[J].传感技术学报,2021,34(2):157-161.
作者姓名:张孟伦
作者单位:天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津300072
基金项目:国家自然科学基金项目(62001322、51375341、61901295);天津市自然科学基金项目(20JCQNJC01120)
摘    要:水环境中的重金属污染具有很高的毒性和不可降解性,对公众健康和生态环境构成了巨大威胁.但大多数现有的检测方法需要大型仪器和人工处理,即便是在线监测系统,也由于其尺寸大、价格高而难以大规模应用.本文基于MEMS加工工艺,设计并制造了一种体积小、自动化的重金属离子检测芯片.通过lift-off工艺,将三电极电化学传感器集成至数字微流控芯片上.实验结果表明,该芯片可以实现样品的自动输运和铅离子的电化学传感检测.将来,通过进一步减小控制系统的尺寸和适当的封装,可以将其制成一个微型传感节点,为物联网的分布式监视提供潜在的解决方案.

关 键 词:电化学  微流控  重金属  物联网节点

Integrated Microfluidic-Sensor Chip for Internet of Things Sensing Node
ZHANG Menglun,ZHANG Xi,NIU Pengfei.Integrated Microfluidic-Sensor Chip for Internet of Things Sensing Node[J].Journal of Transduction Technology,2021,34(2):157-161.
Authors:ZHANG Menglun  ZHANG Xi  NIU Pengfei
Abstract:
Keywords:
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