| 非晶硅太阳电池生产线的技术进步 |
| |
| 引用本文： | 赵益萍,彭俊杰,汪光武,豆玉华,于培诺. 非晶硅太阳电池生产线的技术进步[J]. 真空, 2010, 47(4) |
| |
| 作者姓名： | 赵益萍 彭俊杰 汪光武 豆玉华 于培诺 |
| |
| 作者单位： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司,北京,102600 |
| |
| 摘 要： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司(以下简称北仪)自行设计并成功研制了中国国内首条、整机全部国产化的非晶硅薄膜太阳电池生产线;经过多个用户生产线的建设深刻认识到:核心技术的提升必须依靠自主创新;技术进步需要工艺与设备配套研发、交替提升。北仪建设了具有产业化能力的薄膜太阳电池实验中心;创建了含有"‘在线实验室’的可创新薄膜太阳电池生产线",本文介绍了该生产线的核心设备以及关键工艺步骤中"在线实验室"所起的作用。该生产线的核心设备为等离子体增强化学气相沉积系统(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD),在"在线实验室"的指导下,通过对该系统的稳定性和膜层均匀性的改进以及电池I层厚度和P层材料带隙的优化,得到了性能更优的同质双结非晶硅太阳电池。
|
| 关 键 词： | 非晶硅太阳电池 生产线 在线实验室 带隙 |
Technical progress in production line of amorphous silicon solar cells |
| |
| ZHAO Yi-ping,PENG Jun-jie,WANG Guang-wu,DOU Yu-hua,YU Pei-nuo. Technical progress in production line of amorphous silicon solar cells[J]. Vacuum(China), 2010, 47(4) |
| |
| Authors: | ZHAO Yi-ping PENG Jun-jie WANG Guang-wu DOU Yu-hua YU Pei-nuo |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | PECVD |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
