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| 超磁致伸缩薄膜微机械变形镜驱动器的研究 | |
| 引用本文： | 赵泽宇,侯德胜,谌贵辉,张万里. 超磁致伸缩薄膜微机械变形镜驱动器的研究[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 151-155 |
| 作者姓名： | 赵泽宇 侯德胜 谌贵辉 张万里 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209 2. 电子科技大学,成都,610054;西昌学院,西昌,615022 3. 电子科技大学,成都,610054 |
| 摘 要： | 分析了微机械变形镜MEMS驱动器的种类及其特点,并在磁致伸缩薄膜具有低磁场下的大形变、低功耗、高响应速度等特性基础上,提出了超磁致伸缩薄膜MEMS驱动器的原理.由于TbFe磁致伸缩薄膜在外加磁场作用下,微桥将在水平方向上产生伸长变形,从而引起微桥在垂直方向上发生位移.根据这一原理,设计了一种用于微机械变形镜MEMS驱动器的超磁致伸缩薄膜驱动结构,同时提出制作磁致伸缩薄膜连续式微机械变形镜的工艺流程. |
| 关 键 词： | 超磁致伸缩薄膜 微机电系统 微机械变形镜 驱动器 微桥 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0151-05 |
| 修稿时间： | 2005-03-25 |
Study on Micromachined Deformable Mirrors'''' Actuator with Giant Magnetostrictive Film |
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| Zhao Zeyu,Hou Desheng,Chen Guihui,Zhang Wanli. Study on Micromachined Deformable Mirrors'''' Actuator with Giant Magnetostrictive Film[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 151-155 | |
| Authors: | Zhao Zeyu Hou Desheng Chen Guihui Zhang Wanli |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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