| Fe（1—x）CoxSi2薄膜的光学性质实验研究 |
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| 引用本文： | 张荣君 周鹏 等. Fe（1—x）CoxSi2薄膜的光学性质实验研究[J]. 光电子．激光, 2001, 12(8): 781-784 |
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| 作者姓名： | 张荣君 周鹏 等 |
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| 作者单位： | 复旦大学信息科学与工程学院光科学与工程系, |
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| 基金项目： | This project was su pported by the Natural Science Foundation of China，SRCAP，69076003，OOJCI40 29，， |
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| 摘 要： | 用反应沉积法（RDE）制备了一系列铁钴硅化物好Fe(1-x)CoxSi2薄膜，样品中掺杂的Co含量由卢瑟福背散射（RBS）确定。本文研究了样品的光学性质：室温下在0．26－4．80eV的光子能量范围内，用椭圆偏振光谱仪测量了样品的复介电函数谱。实验发现，Fe(1-x)CoxSi2薄膜的介电函数强烈地依赖于薄膜的状态:a)对于β的Fe(1-x)CoxSi2样品，其介电函数谱在红外低能区呈现出干涉峰，对应于半导体态；b）对于同时存在β相和∑相的混合相Fe(1-x)CoxSi2样品，其介电函数谱呈现出半导体和金属的混合态特征；c)对于∑的Fe(1-x)CoxSi2样品，其介电函数谱呈现出明显的金属态特征。XRD实验结果表明，样品介电函数谱的差异来源于薄膜中不同的Fe-Si相，而与样品中掺Co量的多少并无一定关系。
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| 关 键 词： | 金属硅化物 光电材料 介电常数 光学性质 薄膜 |
| 文章编号： | 1005-0086(2001)08-0781-04 |
| 修稿时间： | 2001-01-12 |
Experimental Study of Optical Properties o f Fe(1-x)CoxSi2 Thin Films |
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| ZHANG Rong jun,ZHOU Peng,ZHANG Ying jun,ZHENG Yu xiang,CHEN Liang yao. Experimental Study of Optical Properties o f Fe(1-x)CoxSi2 Thin Films[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2001, 12(8): 781-784 |
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| Authors: | ZHANG Rong jun ZHOU Peng ZHANG Ying jun ZHENG Yu xiang CHEN Liang yao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | metallic silicide optoelectric materials dielectric function optical properties |
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