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| 液相外延法制备β-BBO薄膜 | |
| 作者姓名： | 刘军芳 徐军 姚武 |
| 作者单位： | 同济大学材料科学与工程学院,上海,200092;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
| 基金项目： | 同济大学青年优秀人才培养行动计划 |
| 摘 要： | 采用液相外延法在掺Sr2 的α-BBO(001)衬底上制备了β-BBO薄膜,研究了制备条件对薄膜质量的影响.结果表明:当生长温度为810 ℃时,转速为300 r/min生长的外延膜具有较高的结晶质量,且随着生长时间的延长,外延膜的结晶质量有所提高.β-BBO薄膜呈c轴高度择优取向,薄膜的双晶摇摆曲线半峰宽值FWHM仅为676.6″,表明β-BBO薄膜较好的结晶质量;在不具备相位匹配的条件下,β-BBO外延膜也能够实现二次谐波输出. |
| 关 键 词： | 无机非金属材料 液相外延 β-BBO薄膜 |
| 文章编号： | 1005-3093（2007）04-0444-05 |
| 修稿时间： | 2006-07-11 |
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