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| 多晶硅铸锭炉的工艺操作研究 | |
| 引用本文： | 张东.多晶硅铸锭炉的工艺操作研究[J].广西轻工业,2014(11):29-30. |
| 作者姓名： | 张东 |
| 作者单位： | 乐山职业技术学院 |
| 基金项目： | 乐职院科研课题:铸锭硅热场性能的优化研究(项目编号:KY2014004) |
| 摘 要： | 多晶硅铸锭炉的生产工艺流程的稳定性直接关系到生产的硅锭合格与否。详细介绍多晶硅铸锭炉的装料、装炉和抽真空、检漏及工艺的实现,并对铸锭炉操作工艺流程进行深入的研究和探讨。 |
| 关 键 词： | 多晶硅 铸锭炉 结构 |
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