|
|||||
|
|
| 光学非球面自动对焦测量系统研究 | |
| 引用本文： | 仲进安,郭隐彪.光学非球面自动对焦测量系统研究[J].机电技术,2003(Z1). |
| 作者姓名： | 仲进安 郭隐彪 |
| 作者单位： | 厦门大学机电系 福建厦门361005 (仲进安)，厦门大学机电系 福建厦门361005(郭隐彪) |
| 摘 要： | 影响高精度非球面磨削加工精度的不仅是机床、刀具和数控技术等参数,而且取决于制造系统所采用测试手段和所能达到测量精度。本文针对非球面制造系统的测量特点,将光栅测量技术和光学显微镜自动对焦技术引入环节,进而提高对非球面工件测量精度,解决了制约非球面加工精度提高的测量问题。 |
| 关 键 词： | 自动对焦 光电检测技术 非球面 加工精度 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |