光学非球面自动对焦测量系统研究 |
| |
作者姓名: | 仲进安 郭隐彪 |
| |
作者单位: | 厦门大学机电系 福建厦门361005(仲进安),厦门大学机电系 福建厦门361005(郭隐彪) |
| |
摘 要: | 影响高精度非球面磨削加工精度的不仅是机床、刀具和数控技术等参数,而且取决于制造系统所采用测试手段和所能达到测量精度。本文针对非球面制造系统的测量特点,将光栅测量技术和光学显微镜自动对焦技术引入环节,进而提高对非球面工件测量精度,解决了制约非球面加工精度提高的测量问题。
|
关 键 词: | 自动对焦 光电检测技术 非球面 加工精度 |
本文献已被 CNKI 等数据库收录! |
|