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| 椭偏法在光学薄膜测量中的应用价值 | |
| 引用本文： | 吴启宏.椭偏法在光学薄膜测量中的应用价值[J].激光与红外,1988(1). |
| 作者姓名： | 吴启宏 |
| 作者单位： | 浙江大学 |
| 摘 要： | 椭圆偏振法是一种测量表面和薄膜特性的精密方法。它具有两个优点:第一,它的测量灵敏度很高,特别是偏振参数Δ对表面或薄膜参数的微小变化有灵敏的反应;第二,它可以测量多种参数。测量中直接得到的是偏振参数Δ、ψ,然后根据不同的测量对象可以进一步求得各种不同的参数。到目前为止,在半导体表面和电化学过程的研究中已经广泛应用椭偏法,但是它在光学薄膜领域内始终只有有限的应用。在本文中,我们将结合工作体会讨论椭偏法在光学薄膜的各项测量中的应用价值。首先简单介绍目前使用的两种椭偏仪:消 |
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