| 高有效孔径比面阵石英微透镜阵列研究 |
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| 引用本文： | 柯才军,易新建,赖建军.高有效孔径比面阵石英微透镜阵列研究[J].半导体技术,2004,29(4):52-55. |
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| 作者姓名： | 柯才军 易新建 赖建军 |
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| 作者单位： | 华中科技大学光电系,湖北,武汉,430074;华中科技大学图像处理与智能控制国家重点实验室,湖北,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 为了提高可见光CCD图像传感器的填充因子从而提高CCD的信噪比,在石英基片上制作了516×516元的微透镜阵列.本文对石英微透镜阵列的制作工艺过程进行了详细讨论.最后的测量结果表明所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓和较好的几何尺寸均匀性.其实测有效孔径比可达到92.8%,极大提高了微透镜阵列的聚光效率.
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| 关 键 词： | 有效孔径比 石英微透镜 CCD传感器 反应离子刻蚀 |
| 文章编号： | 1003-353X(2004)04-0053-03 |
| 修稿时间： | 2003年3月20日 |
Research on fused silica microlens arrays with high effective aperture ratio |
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| KE Cai-jun ,YI Xin-jian ,LAI Jian-jun.Research on fused silica microlens arrays with high effective aperture ratio[J].Semiconductor Technology,2004,29(4):52-55. |
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| Authors: | KE Cai-jun YI Xin-jian LAI Jian-jun |
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| Affiliation: | KE Cai-jun 1,YI Xin-jian 2,LAI Jian-jun1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | effective aperture ratio fused silica microlens CCD sensor RIE |
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