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| 一种双层光栅分束器的设计 | |
| 引用本文： | 李哲.一种双层光栅分束器的设计[J].工业设计,2012(2):69. |
| 作者姓名： | 李哲 |
| 作者单位： | 长春理工大学 |
| 摘 要： | 分束器在集成光学等领域具有重要应用价值。随着对分束比、衍射效率及光束光强均匀性的不断提高以及工艺水平的改善,相继提出了各种变异型位相光栅。本文讨论了一种双层结构的光栅分束器的设计方法。双光栅分别蚀刻在介质层的两面。 |
| 关 键 词： | 衍射效率 光栅分束器 设计方法 分束比 双层结构 集成光学 光强均匀性 位相光栅 优化设计 应用价值 |
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