一种双层光栅分束器的设计

分束器在集成光学等领域具有重要应用价值。随着对分束比、衍射效率及光束光强均匀性的不断提高以及工艺水平的改善,相继提出了各种变异型位相光栅。本文讨论了一种双层结构的光栅分束器的设计方法。双光栅分别蚀刻在介质层的两面。