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| nAERO法制备F掺杂SnO_2薄膜的结构与性能研究 | |
| 引用本文： | 韩广军.nAERO法制备F掺杂SnO_2薄膜的结构与性能研究[J].精细与专用化学品,2014(7). |
| 作者姓名： | 韩广军 |
| 作者单位： | 河南安彩高科股份有限公司; |
| 摘 要： | 采用nAERO辅助气溶胶薄膜沉积技术制备SnO_2∶F薄膜玻璃(FTO),研究了F掺杂量对SnO_2∶F薄膜结构和性能的影响,分别利用X射线衍射仪、扫描电镜、雾度测量仪、方阻测量仪、Lambda750分光光度计对所生产的玻璃薄膜的结构、形貌等进行了研究,讨论了F掺杂量对雾度、透过率、反射率、方阻等薄膜性质的影响。 |
| 关 键 词： | nAREO辅助气溶胶 FTO薄膜 掺杂 |
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