| 薄膜波导光隔离器和光电子单片集成技术 |
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| 引用本文： | 何华辉,冯则坤,欧阳嘉,张颖. 薄膜波导光隔离器和光电子单片集成技术[J]. 光通信技术, 1994, 0(1) |
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| 作者姓名： | 何华辉 冯则坤 欧阳嘉 张颖 |
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| 作者单位： | 华中理工大学固体电子学系 |
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| 摘 要： | 叙述了Ｂｉ，Ａｌ：ＹＩＧ薄膜的液相外延生长，研究了这种薄膜材料的光吸收系数、法拉第旋转角、磁光优值及生长感生磁各向异性与Ｂｉ含量的关系。在此基础上，连续外延生长了作单模磁光波导的双层Ｂｉ，Ａｌ：ＹＩＣ薄膜。光纤偏振器的使用使薄膜波导光隔离器向实用化迈进了一步，恒磁薄膜作偏磁场为器件集成化作出了贡献。采用ＭＯＣＶＤ技术，在ＧＧＧ（钆镓石榴石）基片上同时外延生长Ⅲ－Ⅴ族半导体薄膜和钇铁石榴石（ＹＩＧ）薄膜，把光隔离器和磁光光源直接集成在一起，是一种非常有前景的光电子集成组件。
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| 关 键 词： | 薄膜波导，光隔离器，YIG薄膜，光电子集成技术 |
Thin Film Waveguide Optical Isolator and optic-electronic Intergration on a Single Substrate |
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| HE Hua-Hui, FENG Ze-Kun, OUYANG Jia, ZHANG Ying. Thin Film Waveguide Optical Isolator and optic-electronic Intergration on a Single Substrate[J]. Optical Communication Technology, 1994, 0(1) |
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| Authors: | HE Hua-Hui FENG Ze-Kun OUYANG Jia ZHANG Ying |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Thin film waveguide Optical isolator YIG thin film Optoelectronic integrated technolgy |
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