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| 功率器件用中子嬗变掺杂CZ—Si的退火 | |
| 引用本文： | 张维连,徐岳生.功率器件用中子嬗变掺杂CZ—Si的退火[J].稀有金属,1989,13(4):311-315. |
| 作者姓名： | 张维连 徐岳生 |
| 作者单位： | 河北工学院 (张维连)，河北工学院(徐岳生) |
| 摘 要： | 介绍了用于功率器件的 NTD CZ-Si 原始晶体导电类型和电阻率测量精度对 NTD CZ-Si 目标电阻率准确性和均匀性的影响,提出了原始 CZ-Si 热处理的方法及中照后的 NTD CZ-Si 的退火工艺。 |
| 关 键 词： | 功率器件 中子嬗变掺杂 CZ－Si退火 |
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