| 引信用MEMS加速度传感器敏感元件的设计 |
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| 引用本文： | 石云波,祁晓瑾,刘俊.引信用MEMS加速度传感器敏感元件的设计[J].半导体技术,2006,31(7):537-541. |
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| 作者姓名： | 石云波 祁晓瑾 刘俊 |
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| 作者单位： | 中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原,030051 |
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| 基金项目： | 教育部跨世纪优秀人才培养计划
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山西省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 根据引信环境信息探测的要求,设计了一种新型MEMS高g值压阻式加速度传感器敏感元件.通过ANSYS仿真对该结构进行了量程分析、抗过载分析、灵敏度分析及横向灵敏度分析,提供了一种新的阻尼设计方法.结合过载保护设计,较好地实现了结构阻尼控制与过载保护的融合.最后设计了一套可行的加工工艺.
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| 关 键 词： | 微机电系统 高g值 敏感元件 阻尼设计 信用 MEMS 压阻式加速度传感器 敏感元件 保护设计 Fuze used Accelerometer Element Sensing 加工工艺 融合 过载保护 阻尼控制 结合 设计方法 敏度分析 抗过载 量程 结构 |
| 文章编号： | 1003-353X(2006)07-0537-05 |
| 收稿时间： | 2006-01-18 |
| 修稿时间： | 2006年1月18日 |
Design of the Sensing Element of MEMS Accelerometer used in the Fuze |
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| SHI Yun-bo,QI Xiao-jin,LIU Jun.Design of the Sensing Element of MEMS Accelerometer used in the Fuze[J].Semiconductor Technology,2006,31(7):537-541. |
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| Authors: | SHI Yun-bo QI Xiao-jin LIU Jun |
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| Abstract: | Under the request of the detection of the circumstances of the fuze, a new MEMS high g piezoresistive accelerometer sensing element was designed, the measuring range, antioverloading ability, sensitivity and transverse sensitivity of the structure were analyzed, a new method of damping design was supplied and combined with overloading protection design, which preferably completed the combination of damping control and over loading protection. Finally, a suit of feasibly processing method was supplied. |
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| Keywords: | MEMS high g sensing element damping design |
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