| 探空集成传感器设计 |
| |
| 引用本文： | 武宇,方震,赵湛,陈超,张博军. 探空集成传感器设计[J]. 微纳电子技术, 2003, 0(Z1) |
| |
| 作者姓名： | 武宇 方震 赵湛 陈超 张博军 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所，中国科学院电子学研究所，中国科学院电子学研究所，中国科学院电子学研究所，中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室，北京100080，传感技术国家重点实验室，北京100080，传感技术国家重点实验室，北京100080，传感技术国家重点实验室，北京100080，传感技术国家重点实验室，北京100080 |
| |
| 摘 要： | 微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量 ,降低成本 ,提高系统的可靠性 ,具有重要的科学意义。本文设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测微型集成传感器。考虑到MEMS加工工艺兼容性 ,分别采用空气导热检测法、铂电阻法和电容法对湿度、温度、压力进行检测 ,并且进行了理论计算 ,设计了加工工艺步骤 ,制作出雏形器件
|
| 关 键 词： | 集成传感器 MEMS 导热检测法 湿度 气压 |
Design of integrated sensor for atmosphere research |
| |
| WU Yu,FANG Zhen,ZHAO Zhan,CHEN Chao,ZHANG Bo jun. Design of integrated sensor for atmosphere research[J]. Micronanoelectronic Technology, 2003, 0(Z1) |
| |
| Authors: | WU Yu FANG Zhen ZHAO Zhan CHEN Chao ZHANG Bo jun |
| |
| Abstract: | Integrated sensor has the advantages of less weight, small size , low cost and high reliability. A design of integrated sensors for measuring humidity, temperature and pressure were described in the paper. Considering compatibility of MEMS processing, thermal conductivity method was used to measure humidity, and Pt resistance used to measure temperature, and capacitive sensor to measure pressure. The characteristics of the sensor have been calculated and simulated. The design and fabrication processing was introduced. |
| |
| Keywords: | integrated sensor MEMS thermal conductivity method humidity pressure |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
|
