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杂志ISSN号
离子镀膜新工艺
作者姓名:
友清
作者单位:
友清
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摘 要:
美国Balzers公司推出一种适用于光学元件的蒸发系统,该系统使用公司专有的离子电镀工艺。这种BAP800型系统是一种立方形真空系统,它把离子电镀的好处扩大到光学镀膜,特别是氧化物薄膜或氮化物薄膜镀制的应用。
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