准分子激光推动集成电路光刻

87年3月于美国加州圣·克拉拉光学仪器工程师协会召开的微型光刻术中的激光会议上 重要的事件是，GCA公司宣布了第一个分辨率为0.5纳米的基于准分子激光器的印刷系统将在1987年第二季度推出。这次会议还介绍了另外几种准分子激光器，并讨论了透镜、光敏电阻和控制激光线宽的重要性。