| 激光清洗技术在微电子领域的应用 |
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| 引用本文： | 赵志明.激光清洗技术在微电子领域的应用[J].洗净技术,2004,2(8):29-34. |
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| 作者姓名： | 赵志明 |
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| 作者单位： | 西安交通大学电信学院,陕西,西安,710049 |
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| 摘 要： | 本文介绍了激光清洗技术在微电子领域的应用，对该技术在清除细微颗粒方面所具有的独到的优越性进行了探讨。
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| 关 键 词： | 激光清洗 微电子 激光辐射 激光器 |
| 文章编号： | 1672-2248(2004)08-0029-06 |
| 修稿时间： | 2004年6月15日 |
the application of Laser cleaning technology in microelectronics industry field |
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| Authors: | Zhao zhiming |
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| Abstract: | This paper introduces the application of Laser cleaning used in microelectronics industryfield, discussing the particular advantage of the technology. |
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| Keywords: | Laser Cleaning Application |
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