| 束流测量中的工频陷波器 |
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| 引用本文： | 陈振生.束流测量中的工频陷波器[J].微细加工技术,2002(4):11-13. |
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| 作者姓名： | 陈振生 |
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| 作者单位： | 山东大学控制科学与工程学院,济南,250061 |
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| 摘 要： | 提出了一种应用于电子束曝光机束流测量中的自动跟踪工频陷波器，给出电路结构，基于对其工作原理的分析，介绍了提高陷波器跟踪精度的设计要点及调试方法。
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| 关 键 词： | 电子束曝光机 束流 自动跟踪 工频 陷波器 工作原理 |
| 文章编号： | 1003-8213(2002)04-0011-03 |
| 修稿时间： | 2002年2月26日 |
A Power Frequency Wave-trap in Beam Current Measurement |
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| CHEN Zhen,sheng.A Power Frequency Wave-trap in Beam Current Measurement[J].Microfabrication Technology,2002(4):11-13. |
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| Authors: | CHEN Zhen sheng |
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| Abstract: | A new structure of linear auto tracking wave trap for power frequency is introduced. The wave trap is applied to measure the beam current in the electron beam exposure machine. Based on the analysis of the fundamental principles of the wave trap, its design keys for improving performances and the adjusting method are presented in detail. |
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| Keywords: | electron beam exposure machine beam current auto tracking power frequency wave trap |
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