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分类号
杂志ISSN号
联动薄膜压力敏感芯片测试方法研究
作者姓名:
刘博群
揣荣岩
作者单位:
沈阳工业大学信息科学与工程学院
摘 要:
在MEMS技术受到广泛应用的趋势下,为适应未来发展的需要,以电容式压力敏感芯片为例,设计一种针对联动薄膜压力敏感芯片电容检测的测试方法,可对压力敏感芯片的输出电容做出准确测量。该测试方法涉及电路中的电容时间转换电路、时间脉宽转换电路、脉宽提取器以及数字输出电路,对各个电路模块进行电路设计论证,分析电路功能的完善性,并绘制版图,按照测试方法合并所有电路模块进行整体电路仿真及测试。实验结果表明测试方法达到设计预期。
关 键 词:
微机电系统
联动薄膜
电容式压力敏感芯片
电容-时间转换电路
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