联动薄膜压力敏感芯片测试方法研究

在MEMS技术受到广泛应用的趋势下，为适应未来发展的需要，以电容式压力敏感芯片为例，设计一种针对联动薄膜压力敏感芯片电容检测的测试方法，可对压力敏感芯片的输出电容做出准确测量。该测试方法涉及电路中的电容时间转换电路、时间脉宽转换电路、脉宽提取器以及数字输出电路，对各个电路模块进行电路设计论证，分析电路功能的完善性，并绘制版图，按照测试方法合并所有电路模块进行整体电路仿真及测试。实验结果表明测试方法达到设计预期。