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| 纳米尺寸芯片的透射电镜样品制备方法 | |
| 引用本文： | 段淑卿,虞勤琴,陈柳,赵燕丽,李明,张启华,简维廷.纳米尺寸芯片的透射电镜样品制备方法[J].半导体技术,2016,41(12). |
| 作者姓名： | 段淑卿 虞勤琴 陈柳 赵燕丽 李明 张启华 简维廷 |
| 作者单位： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海,201203;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海,201203;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海,201203;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海,201203;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海,201203;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海,201203;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海,201203 |
| 基金项目： | 上海市先进集成电路微分析专业技术服务平台资助项目 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 透射电镜(TEM) 样品制备 聚焦离子束(FIB) 失效分析 平面样品 |
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