基于空间网格的三维激光球杆仪系统误差标定

三维激光球杆仪是一种空间坐标测量设备，由二维转台和径向伸缩机构组成。伸缩机构的末端固定有一个由测量目标磁吸并带动设备运动的标准球。伸缩机构的位移由光栅尺测量，二维转台的旋转角度由圆光栅测量，测量系统测得的坐标经坐标转换后可以得出被测目标的坐标。分析了系统的主要误差来源，采用多体系统误差建模方法建立了误差模型。最后基于几何误差模型非线性优化对设备的单项误差进行标定。经过误差补偿后，设备在测量范围内测量空间点的位置误差可以达到0.06 mm以内。