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Sol-gel独立前驱单体制备PZT铁电薄膜技术
引用本文:陈祝,杨邦朝,杨成韬,张树人. Sol-gel独立前驱单体制备PZT铁电薄膜技术[J]. 功能材料, 2004, 35(4): 417-419,422
作者姓名:陈祝  杨邦朝  杨成韬  张树人
作者单位:电子科技大学,微固学院,四川,成都,610054;电子科技大学,微固学院,四川,成都,610054;电子科技大学,微固学院,四川,成都,610054;电子科技大学,微固学院,四川,成都,610054
摘    要:采用醋酸铅、硝酸氧锆(硝酸锆)、钛酸丁酯独立稳定的前驱单体。sol—gel法旋转涂膜技术制备了PZT铁电薄膜。研究了水的添加量对溶胶形成的影响,比较了不同的溶胶浓度、膜层结构(PT/PZT/PT Sandwich)及热处理工艺条件对薄膜结构、铁电性能的影响。

关 键 词:PZT  sol-gel法  前驱单体  铁电薄膜
文章编号:1001-9731(2004)04-0417-03

Separated precursor-monomer for sol-gel preparation PZT ferroelectric film
CHEN Zhu,YANG Bang-chao,YANG Cheng-tao,ZHANG Shu-ren. Separated precursor-monomer for sol-gel preparation PZT ferroelectric film[J]. Journal of Functional Materials, 2004, 35(4): 417-419,422
Authors:CHEN Zhu  YANG Bang-chao  YANG Cheng-tao  ZHANG Shu-ren
Abstract:
Keywords:PZT  sol-gel  precursor-monomer  ferroelectric film
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