微光机电系统技术的研究与应用(下)

二光学研究和应用 　　微光学平台是微光机电系统技术应用的一个典型例子,它主要用于光学测量和实验.传统的光学系统平台体积大,系统中的元件是先分开制造然后组装而成,装配量很大,成本很高.而微光学平台体积小,系统中的元件可集成加工在单一芯片上,对准精度高,可成批生产,成本低.这些优点使微光学平台相对于传统的光学系统有很大的优势.所以,该方面的研究是微光机电系统研究的最基本部分.研究包括各种微铰链(图7(a))、微反射镜(图7(b))、微衍射透镜(Fresnel,多阶二元微透镜(图7(c))、微折射透镜(图7(d))、光束分离器和光栅等.图8所示为美国加州大学洛杉矶分校提出的微光学平台样机.该微光学平台由微透镜、分束器、反射镜和光栅等元件通过铰链组装技术集成在一个芯片上. 　　……