电子束蒸发TiO_2膜通氧量对薄膜光学性能的影响 |
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引用本文: | 王超,王多书,王济洲,李坤,李晨,高欢.电子束蒸发TiO_2膜通氧量对薄膜光学性能的影响[J].真空与低温,2015(1):11-14. |
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作者姓名: | 王超 王多书 王济洲 李坤 李晨 高欢 |
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作者单位: | 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室 |
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摘 要: | 研究了不同通氧量对电子束蒸发沉积二氧化钛薄膜的光学性能影响。随着氧气流量从37.4×10-3Pa·m3·s-1增加到61.2×10-3Pa·m3·s-1,真空室的真空度从1.4×10-3Pa变化到2.5×10-3Pa,可以得到不同光学性能的二氧化钛薄膜。采用分光光度计测试其光谱,结果发现Ti O2薄膜的透射率峰值随着真空度降低而增大,折射率和消光系数随真空度降低先升高后降低。在真空度2.0×10-3Pa的工艺条件下,成膜质量最优,透射率为92%,折射率在2.50~2.20之间,消光系数在10-4以下。根据Cauchy方程拟合其色散规律,拟合曲线和采用包络法计算得到的曲线较好重合,折射率随波长的变化公式为n(λ)=2.17+6.12×104/λ2+2.98×108/λ4。
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关 键 词: | 薄膜 TiO2 通氧量 真空度 光学性能 |
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