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| 多弧离子镀TiN涂层工艺及相结合 | |
| 作者姓名： | 叶卫平 许大庆 |
| 作者单位： | [1]武汉汽车工业大学材料系 [2]华中理工大学 |
| 摘 要： | 探讨了多弧离子镀技术中预轰击时间，氮分压和靶电流等对高速钢ＴｉＮ涂层的影响，结果表明，在不同的工艺条件下，ＴｉＮ涂层的相结构组成基本相同，但相对量不一样。当氮分压降低时或当预轰击时间延长时，涂层的硬度增大，耐磨性能改善。当靶电流减小时，涂层的硬度和耐磨性能降低。 |
| 关 键 词： | 多弧离子镀 刀具 氮分压 靶电流 氮化钛涂层 |
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