| 多孔硅湿度传感器研究进展 |
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| 引用本文： | 许媛媛,何金田,李新建,陈渝仁.多孔硅湿度传感器研究进展[J].传感器与微系统,2003,22(8):5-8. |
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| 作者姓名： | 许媛媛 何金田 李新建 陈渝仁 |
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| 作者单位： | 郑州大学,物理工程学院,河南,郑州,450052 |
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| 摘 要： | 综述了湿度传感器的研究现状。分析了多孔硅湿度传感器的感湿机理,介绍了几种多孔硅湿度传感器的制作工艺及结构,并讨论了它们的优缺点。最后,对多孔硅湿度传感器的应用前景作了展望。
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| 关 键 词： | 多孔硅 湿度传感器 湿敏元件 |
| 文章编号： | 1000-9787(2003)08-0005-04 |
| 修稿时间： | 2003年2月20日 |
Development of porous silicon humidity sensor |
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| XU Yuan-yuan,HE Jin-tian,LI Xin-jian,CHEN Yu-ren.Development of porous silicon humidity sensor[J].Transducer and Microsystem Technology,2003,22(8):5-8. |
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| Authors: | XU Yuan-yuan HE Jin-tian LI Xin-jian CHEN Yu-ren |
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| Abstract: | Existing state of the recent research of humidity sensors is summarized. The humidity sensitive mechanism of porous silicon humidity sensor is analysed. Several manufacture techniques and structures of porous silicon humidity sensor are introduced, then merits and demerits of them are discussed. Finally,prospects of (future) applications of porous silicon humidity sensor are presented. |
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| Keywords: | porous silicon(PS) humidity sensor humidity sensitive element |
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