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我国声表面波技术三十年回顾与展望
作者姓名:母开明
作者单位:信息产业部电子第二十六研究所
摘    要:瑞利1885年发现声表面波(SAW)以后,直至1965年,怀特和沃特默发现了瑞利SAW波的有效激励方法:压电基片上的又指换能器。从此,SAW技术进入了应用开发高潮。由于SAW具有尺寸小、固态化、稳定可靠、不需调整以及信号处理功能极强和抗辐射等优势,各国竞相开发。 早期在研究各种晶体、陶瓷和薄膜的SAW参数的同时,对SAW基本元件包括又指换能器、多

关 键 词:声表面波技术 滤波器 传感器 频率合成器
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