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| 用于超高真空的狭缝的设计与制造 | |
| 引用本文： | 王秋平,张允武.用于超高真空的狭缝的设计与制造[J].真空,1993(3):32-34,52. |
| 作者姓名： | 王秋平 张允武 |
| 作者单位： | 中国科技大学，中国科技大学，中国科技大学，中国科技大学，沈阳科学仪器厂 合肥市230026，合肥市230026，合肥市230026，合肥市230026 |
| 摘 要： | 本文讨论了弹性狭缝机构的特点、设计原理及加工工艺，该狭缝机构具有结构简单，精度高和优异的超高真空性能。特别适用于真空紫外单色仪的光学狭缝，其设计原理也可用于一般光学狭缝的设计。 |
| 关 键 词： | 真空 狭缝 设计 紫外单色仪 测量 |
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