半导体可饱和吸收镜失效分析及改进方法研究 |
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引用本文: | 王勇刚,马骁宇,冯 健,李 伟,李照银.半导体可饱和吸收镜失效分析及改进方法研究[J].激光与红外,2004,34(3). |
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作者姓名: | 王勇刚 马骁宇 冯 健 李 伟 李照银 |
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作者单位: | 中国科学院半导体研究所, 北京 100083 |
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摘 要: | 介绍了半导体可饱和吸收镜的锁模原理和制作方法,通过分析超短脉冲激光与半导体材料作用原理,阐述了提高半导体可饱和吸收镜抗激光损伤阈值的方法,如吸收区掺杂、退火、扩大低温生长区、表面热沉等。实验中通过退火和镀介质薄膜使半导体可饱和吸收镜由不能工作转为能够工作,并且获得稳定的连续锁模脉冲激光输出。
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关 键 词: | 超短脉冲激光 半导体可饱和吸收镜 损伤 |
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