| 金红石和锐钛矿型二氧化钛薄膜的制备和特性评价 |
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| 引用本文： | 苗蕾 钟村荣 钟村真幸 森正行 藤昇一 金子贤治. 金红石和锐钛矿型二氧化钛薄膜的制备和特性评价[J]. 陕西科技大学学报, 2004, 22(5): 68-75 |
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| 作者姓名： | 苗蕾 钟村荣 钟村真幸 森正行 藤昇一 金子贤治 |
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| 作者单位： | [1]日本名古屋工业大学环境科学与城市规化系，日本名古屋466--8555 [2]日本材料科学研究所，日本名古屋467—8530 [3]日本九州大学超高压电子显微镜和材料科学实验室，日本名古屋812—8581 |
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| 摘 要： | 综述了作者近年来通过交流螺旋磁控溅射制备锐钛矿和金红石型微晶薄膜的研究进展，阐述了薄膜的制备工艺与其晶体结构、组成、光学性能以及杀菌能力的关系，并通过有效的方法对其光学性能进行了改进。
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| 关 键 词： | 金红石 锐钛矿型 二氧化钛薄膜 制备 交流螺旋磁控溅射 光学性能 杀菌能力 表面处理 |
A REVIEW OF STUDY ON FABRICATION AND CHARACTERIZATION OF ANATASE/RUTILE-TIO2 THIN FILM |
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| Abstract. A REVIEW OF STUDY ON FABRICATION AND CHARACTERIZATION OF ANATASE/RUTILE-TIO2 THIN FILM[J]. Journal of Shaanxi University of Science & Technology(Natural Science Edition), 2004, 22(5): 68-75 |
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| Authors: | Abstract |
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| Abstract: | This review article summarizes briefly some important achievements of our recent research on anatase and/or rutile TiO_2 thin films, fabricated by helicon RF magnetron sputtering, with good crystal quality and high density, and gives the-stae-of-the-art of the knowledge on systematic interrelationship for fabrication conditions, crystal structure, composition, optical properties, and bactericidal abilities, and on the effective surface treatment to improve the optical reactivity of the obtained films. |
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| Keywords: | TiO_2 thin film helicon RF magnetron sputtering epitaxial growth optical properties bactericidal ability surface treatment |
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