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TS系列新型感光交联剂
摘 要:
据《电子材料》1982年第8辑报道,应用于光致抗蚀剂(光刻胶)中的TS系列双叠氮型感光交联剂由上海同济大学与苏州捷嘉电子材料器材厂联合研制成功。双叠氮型感光交联剂是环化橡胶负电性光致抗蚀剂、水溶性光致抗蚀剂及射线固化涂料中不可缺少的关键性添加材料。TS系列新型感光交联剂除
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