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硒化Cu,In双层膜制备CuInSe2薄膜
引用本文:王延来,果世驹. 硒化Cu,In双层膜制备CuInSe2薄膜[J]. 太阳能学报, 2011, 32(7): 969-973
作者姓名:王延来  果世驹
作者单位:1. 内蒙古大学物理科学与技术学院,内蒙古自治区高等学校半导体光伏技术重点实验室,呼和浩特010021
2. 北京科技大学粉末冶金研究所,北京,100083
摘    要:采用超声波电沉积方法在钼衬底上制备了Cu,In双层膜,随后硒化得到了CuInSe2薄膜.采用扫描电镜( SEM)、能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)研究了薄膜的表面形貌、化学成分和相组成.结果表明:利用超声波电沉积可以得到颗粒细小、均匀致密的Cu层和In层;采用不同的工艺参数可以调节双层膜的Cu/In比率;双层膜在130C下,退火6h后进行硒化,可得到符合化学计量比的CuInSe2薄膜.

关 键 词:CuInSe2薄膜  超声波电沉积  硒化

PREPARATION OF CuInSe2 THIN FILMS BY SELENIZATION OF Cu, In DOUBLE LAYER FILMS
Wang Yanlai,Guo Shiju. PREPARATION OF CuInSe2 THIN FILMS BY SELENIZATION OF Cu, In DOUBLE LAYER FILMS[J]. Acta Energiae Solaris Sinica, 2011, 32(7): 969-973
Authors:Wang Yanlai  Guo Shiju
Abstract:
Keywords:
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