| 陶瓷激光精密打孔工艺研究 |
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| 引用本文： | 张银江,方鸣岗.陶瓷激光精密打孔工艺研究[J].激光与红外,2001,31(3):161-162. |
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| 作者姓名： | 张银江 方鸣岗 |
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| 作者单位： | 华北光电技术研究所, |
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| 摘 要： | 用脉冲Nd:YAG激光对氧化铝（Al2O3)陶瓷基片进行了激光打孔试验，分析了激光能量、激光脉宽、脉冲频率、离焦量等工艺参数对成孔质量的影响。
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| 关 键 词： | 脉冲Nd：YAG激光 陶瓷 激光打孔 氧化铝 |
| 文章编号： | 1001-5078(2001)03-0161-02 |
| 修稿时间： | 2000年10月11 |
The Research of the
Ceramic Drilling by Nd:YAG Laser |
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| ZHANG Yinjiang,FANG Minggang.The Research of the
Ceramic Drilling by Nd:YAG Laser[J].Laser & Infrared,2001,31(3):161-162. |
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| Authors: | ZHANG Yinjiang FANG Minggang |
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| Abstract: | In the paper, a pulse Nd∶YAG laser was used to dr ill AL2O3 ceramic, discussed the effects of the laser energy, laser pulse wi dth, repeat frequency, focus setting etc parameters on the laser drilling qualit y. |
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| Keywords: | |
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