| 可调合成波长链绝对距离干涉测量 |
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| 引用本文： | 晁志霞,殷纯永,徐毅,许婕.可调合成波长链绝对距离干涉测量[J].计量学报,2002,23(3):161-163,177. |
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| 作者姓名： | 晁志霞 殷纯永 徐毅 许婕 |
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| 作者单位： | 1. 清华大学精仪系,精密计量与测试国家重点实验室,北京,100084
2. 中国计量科学研究院,北京,100013 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 (5 973 5 12 0 ) |
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| 摘 要： | 本文提出一种利用半导体激光器的波长调谐特性实现的可调合成波长链绝对距离干涉测量方法 ,针对不同的待测距离 ,可选择不同的合成波长链 ,完成对待测距离的由粗测到精测的整个过程。文中基于这种方法构建了干涉测量系统 ,该系统利用压电陶瓷调制的在一条直线上的两个双光束干涉仪 ,使待测距离被包含于一个交流信号的相位项中 ,从而使小数条纹的测量转化为相位测量 ,合成波干涉条纹的小数级次由单波长干涉信号的相位测量值计算得到。文中以外尺寸测量为例描述了实验装置 ,实验结果表明 ,在现有的测量系统和实验条件下 ,待测距离小于 5mm时的测量极限偏差优于 2 0μm。
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| 关 键 词： | 可调合成波长链 外腔半导体激光器 绝对距离测量 |
| 文章编号： | 1000-1158(2002)03-0161-04 |
The Absolute Measurement of Distancewith Changeable Synthetic Wavelength Chain |
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| CHAO Zhi xia ,YIN Chun yong ,XU Yi ,XU Jie.The Absolute Measurement of Distancewith Changeable Synthetic Wavelength Chain[J].Acta Metrologica Sinica,2002,23(3):161-163,177. |
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| Authors: | CHAO Zhi xia YIN Chun yong XU Yi XU Jie |
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| Affiliation: | CHAO Zhi xia 1,YIN Chun yong 1,XU Yi 2,XU Jie 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Changeable synthetic wavelength chain External cavity diode laser Absolute distance measurement |
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