| 基于图像的线路板线宽测量系统的研制 |
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| 引用本文： | 熊邦书,雷鸰,徐精华.基于图像的线路板线宽测量系统的研制[J].半导体光电,2008,29(6):945-948,952. |
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| 作者姓名： | 熊邦书 雷鸰 徐精华 |
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| 作者单位： | 南昌航空大学,电子信息工程学院,江西,南昌,330063;南昌航空大学,电子信息工程学院,江西,南昌,330063;南昌航空大学,电子信息工程学院,江西,南昌,330063 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，江西省自然科学基金，江西省教育厅科研项目，教育部重点实验室基金 |
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| 摘 要： | 为测量印刷线路板(PCB)上密集直线的线宽,构建了由CCD摄像机、视频采集卡、照明装置和PC机组成的光机电一体测量系统.该系统首先用矩形框获取包含被测线宽的局部图像,并进行相应的预处理;然后,采用扫描方法获取被测线宽的两边缘点集,进而采用最小二乘拟合、奇异点去除、再次拟合的方法获取两边缘直线方程;最后,利用去奇异点后的两边缘点集和两边缘直线方程计算得到直线的线宽.仿真和真实线宽测量实验结果表明,该系统具有较高的测量效率和精度,其重复测量精度优于2μm,已被多家PCB生产厂采用.
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| 关 键 词： | 印刷线路板 最小二乘法拟合 图像测量 |
Image-based Line Width Measurement System |
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| XIONG Bang-shu,LEI Ling,XU Jing-hua.Image-based Line Width Measurement System[J].Semiconductor Optoelectronics,2008,29(6):945-948,952. |
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| Authors: | XIONG Bang-shu LEI Ling XU Jing-hua |
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