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256×256高帧频可见光CCD的研制
引用本文:邓光华,周旭东,张坤,钟四成.256×256高帧频可见光CCD的研制[J].半导体光电,2004,25(4):262-263,280.
作者姓名:邓光华  周旭东  张坤  钟四成
作者单位:重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060
摘    要:采用三相全帧帧转移结构和常规的CCD工艺,设计并研制了一种高速摄像用256×256元高帧频可见光CCD成像器件.器件光敏元采用MOS结构,尺寸为10μm×10μm,4信号抽头输出,占空比100%.测试结果表明,器件工作波长为0.4~1.1 μm,光灵敏度为0.05 lx(峰值波长处,积分时间40 ms),帧速为500帧/秒,动态范围大于等于54 dB,响应非均匀性小于等于2%.

关 键 词:CCD图像传感器  高帧频  动态范围
文章编号:1001-5868(2004)04-0262-02
修稿时间:2004年4月14日
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