256×256高帧频可见光CCD的研制 |
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引用本文: | 邓光华,周旭东,张坤,钟四成.256×256高帧频可见光CCD的研制[J].半导体光电,2004,25(4):262-263,280. |
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作者姓名: | 邓光华 周旭东 张坤 钟四成 |
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作者单位: | 重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060 |
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摘 要: | 采用三相全帧帧转移结构和常规的CCD工艺,设计并研制了一种高速摄像用256×256元高帧频可见光CCD成像器件.器件光敏元采用MOS结构,尺寸为10μm×10μm,4信号抽头输出,占空比100%.测试结果表明,器件工作波长为0.4~1.1 μm,光灵敏度为0.05 lx(峰值波长处,积分时间40 ms),帧速为500帧/秒,动态范围大于等于54 dB,响应非均匀性小于等于2%.
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关 键 词: | CCD图像传感器 高帧频 动态范围 |
文章编号: | 1001-5868(2004)04-0262-02 |
修稿时间: | 2004年4月14日 |
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