| 采用Talbot效应莫尔条纹的子波面斜率测量 |
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| 引用本文： | 侯昌伦,徐建锋,白剑,杨国光.采用Talbot效应莫尔条纹的子波面斜率测量[J].光电工程,2007,34(11):61-64. |
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| 作者姓名： | 侯昌伦 徐建锋 白剑 杨国光 |
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| 作者单位： | 浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,微系统中心,浙江,杭州,310027;浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,微系统中心,浙江,杭州,310027;浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,微系统中心,浙江,杭州,310027;浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,微系统中心,浙江,杭州,310027 |
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| 摘 要： | 为了实现大口径长焦距透镜波面精确测量,提出了一种基于朗奇光栅泰伯效应、莫尔条纹技术的子波面斜率测量方法.当子孔径光束照射在朗奇光栅上时,在光栅后周期位置出现光栅的泰伯像,如果将另一朗奇光栅放在光栅泰伯像的位置,在这块光栅后就会形成莫尔条纹,莫尔条纹会因子孔径光束的斜率微小变化而产生移动,通过计数移动的莫尔条纹数就可以得出子孔径光束的波面斜率.文章推导了子波面斜率的计算公式并进行了理论分析,从实验上对理论分析进行了验证.这种方法能够用于大口径波面检测中子孔径波面斜率的精确测量.
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| 关 键 词： | 子波面斜率 Ronchi光栅 Talbot效应 莫尔条纹 |
| 文章编号： | 1003-501X（2007）11-0061-04 |
| 收稿时间： | 2006/11/22 |
| 修稿时间： | 2006-11-22 |
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